【課題】単結晶の外部幾何構成に関係なく、結晶配向の決定および配向固定における精度の向上を確実にする。
【解決手段】単結晶１の固定はサファイアまたは炭化ケイ素などのきわめて硬い材料を用いて正確におこなう。結晶格子の配向を決定するために単結晶が回転テーブル２上に調整可能に位置決めされ、回転テーブルの少なくとも１回転中に、複数のｘ線反射Ｒに基づき、結晶格子の配向が決定される。単結晶の固定および基準方向に向けられた支持材における固締を行う前に、基準方向としての回転テーブルの軸（Ｘ−Ｘ）に対する格子面ＮＥの法線の決定された角度を参照して、結晶格子の配向が実現される。 （もっと読む）