電子部品の洗浄に使用する超音波洗浄タンクであって、孔部を有する分流プレートに操作可能な状態で分離された上方部と下方部を有する。ピストン様の層流領域を発生させるために、洗浄タンクは、上方部の内部に突起物や障害物が存在しないように製造されている。孔部を通る洗浄流動体に均質流の発生を促進させるように、分流プレートは下方部内に反圧を提供するようになっている。洗浄流動体は電子部品を通過して上昇する。同時に、超音波トランスジューサが洗浄流動体内に超音波エネルギーを供給し、電子部品から汚染物が取り除かれるように超音波キャビテーション現象を促進する。汚染物は層流によって上方に運搬され、洗浄タンクの上縁部から溢れ出る。洗浄タンクはバッチモードまたは循環モードのどちらかで使用できる。 （もっと読む）

図１に図示されるような、VOC溶媒を使用せずに精密部品を洗浄するための二溶媒洗浄システム１００である。洗浄システムは洗浄部１０４、リンス部１０６及び溶媒回収部１０８を有する。二溶媒洗浄システムは、第一の溶媒１１２及び第二の溶媒１２６を用いて精密部品を洗浄及びリンスする二つの運転モードを提供し、第一及び第二の溶媒は分離可能であり、回収可能である。第一及び第二の溶媒は、従来式のVOC溶媒型システムと同程度に効果的なVOC除去溶媒であり、後に第一及び第二の溶媒を分離、回収及び再利用できるであろう。
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