【課題】画像データのより効率的な取得及び解析を可能にする。
【解決手段】荷電粒子顕微鏡を操作する方法であって、第１設定で対象物の第１領域の第１画像を記録し、第２設定で対象物の第２領域の第２画像を記録する。第２設定は、一次荷電粒子の運動エネルギー、検出器設定、ビーム電流、測定チャンバ内の圧力の少なくとも１つに関して第１設定とは異なる。第１領域及び第２領域を少なくとも部分的に含む第３領域の第３画像を記録する。第３画像の少なくとも一部を表示し、表示した第３画像内に少なくとも部分的に第１画像の表現を表示する。第１画像の表現は第１設定を示す第１インジケータを含む。表示した第３画像内に少なくとも部分的に第２画像の表現を表示する。第２画像の表現は第２設定を示す第２インジケータを含み、表示した第２インジケータは表示した第１インジケータとは異なる、方法。 （もっと読む）

【課題】とくには電子顕微鏡などのビーム装置によって検査される試料を保持するために設けられた保持部材の位置を制御および監視するための方法および装置を提供する。
【解決手段】不整に関係するあらゆる誤差を考慮に入れて保持部材の位置を制御および監視するため、存在しうる誤差の補間という考え方にもとづいて、取得、保存した誤差マップ、補正マップに従い保持部材の位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子ビーム器具（１０）が提供される。
【解決手段】 器具は、荷電粒子光学コラム（１２）と、電圧源と、検出器（１４）と、試料ホルダ（１８）とを含み、コラム（１２）は、一次荷電粒子のビームを試料ホルダ（１８）上の試料（２０）に向けて、二次荷電粒子を試料から放出させるよう機能し、電圧源は、第２の荷電粒子を検出器（１４）に引寄せる成分を有する電界を試料の近傍において確立するよう機能し、検出器は、二次荷電粒子を検出するよう機能し、器具はさらに、第１の電圧と第２の電圧との間で可変であることにより検出器（１４）によって検出される二次荷電粒子の数を増大させるさらなる電圧源（１６）を含み、第１の電圧は、二次荷電粒子を試料から引離してそれらの少なくともいくつかが試料（２０）または試料ホルダ（１８）に衝突することを防止する電界の成分を確立し、第２の電圧は、二次荷電粒子を試料の方に引寄せてそれらの少なくともいくつかがコラム（１２）に衝突することを防止する電界の成分を確立する。 （もっと読む）

【課題】遠隔操作により制御可能なコンピュータを含む荷電粒子ビーム装置が提供される。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１０は、コンピュータからのデータを携帯電話ネットワーク１４を介してショートメッセージサービス（ＳＭＳ）および／またはマルチメディアメッセージサービス（ＭＭＳ）メッセージの形式でモバイル装置１６，１８，２０に伝送させるように動作可能なインターフェイス２４を含む。荷電粒子ビーム装置１０は、携帯電話１４からＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取り、コンピュータにコマンドを実行させるように動作可能である。 （もっと読む）

【課題】 スキャナと、放射検出器と、ＤＣ増幅器とを含む粒子ビーム走査機器、および、このような機器を用いてビデオ信号を生成する方法を提供する。
【解決手段】 粒子ビーム走査機器は、スキャナと、放射検出器と、ＤＣ増幅器とを含み、ＤＣ増幅器は、ビデオ信号を生成するために放射検出器により生成される信号を増幅するよう動作可能であり、この機器はさらにコントローラを含み、コントローラは、試料との関係でビームを導くよう、または、いつビームが導かれるかを決定するよう動作可能であり、そのため実際のビデオ信号と所望のビデオ信号とが比較されることができ、コントローラはさらに、実際のビデオ信号と所望のビデオ信号とを比較するよう、かつ、信号間の差異を低減するためにＤＣ増幅器のＤＣオフセットを調整するよう動作可能である。さらに、このような機器を用いてビデオ信号を生成する方法が提供される。 （もっと読む）