【課題】
柔軟性と精度の両方を与える歯付きラックとその駆動配列の設計を見出すこと。
【解決手段】
試料ステージは支持体と支持体上の第一長さの細長い案内部とから成る。少なくとも一つの移動可能なプレートは案内部により案内される支持体上にある。プレートを移動させる駆動配列である。駆動配列は、少なくとも一つの回転可能な軸と、軸に連結されて軸を回転するアクチュエータと、軸に連動されて連結されて回転を伝達するピニオンと、第二長さの歯付きラックとから成り、そのラックの歯がピニオンの歯と係合してピニオンの回転運動をラックの直線運動へ変換する。ラックは柔軟であり、少なくとも一つの曲がった部分に、適切に直線部分に案内される。柔軟性にもかかわらず幾つかの剛性を備えるために、ラックの歯がハロゲン化エチレンの本体に機械加工される。適切に、ピニオンが曲がった部分に対して半径方向外面におけるラックと係合する。軸は容易な交換をできるようにピニオンに開放自在に連結され得る。 （もっと読む）