エイズィー・エレクトロニック・マテリアルズ・(ジャーマニー)・ゲーエムベーハーにより出願された特許
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フォトレジストにおいて用いるための感光性成分
式(I)(式中、記号及び指数はそれぞれ以下のように定義される:Aは、A’、R、又はO−Rであり;ここで、Rは、1〜8個の炭素原子を有する、直鎖、分岐鎖、又は環式で、飽和又は不飽和の脂肪族基であり;A’は、同一か又は異なり、式(Ia)であり;Bは、結合、−O−C(O)−、−C(O)−O−、−O−C(O)−、−C(O)−NH−、−NH−C(O)−、−C(O)−O−CH2−CH(OH)−CH2−O−、−O−CH2−CH(OH)−CH2−O−(O)C−、−O−C(O)−O−、−O−C(O)−NH−、又は−NH−C(O)−O−であり;R1は、H又はOHであり;mは、1、2、3、4、又は5であり;Yは、式(II)、(III)、(IV)、(V)であり;nは、≧3の正の有理数であり;Eは、同一か又は異なり、−CH−CHR2−、−CHR2−CH2−、−CH2−CHR2−O−、−O−CHR2−CH2−、−(CH2)r−O−、又は−O−(CH2)−であり;R2は、H又はCH3であり;rは、1又は4である)の化合物は、フォトレジストのための感光性成分として好適である。
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フェナントレン誘導体、およびその強誘電性液晶混合物における使用
【課題】液晶混合物において混合物の特性を改良するために適当な新規化合物を提供する。
【解決手段】式(I)のフェナントレン誘導体:
具体的には例えば1,8−ジフルオロ−2,7−ジオクチルオキシフェナントレン等が例示される。
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フォトレジスト溶液の調製方法
【課題】簡便な感光性フォトレジスト溶液の調製方法の提供。
【解決手段】ノボラック樹脂とジアゾナフトキノンスルホニルクロリドを複数のフォトレジスト溶媒に溶解し、ノボラック樹脂のフェノール性ヒドロキシル基の1〜70mol%の割合を塩基存在下で(置換基を有していても良い)ジアゾナフトキノンスルホニルクロリドと反応させる。そして、この反応混合物を水洗し、塩基成分を除去し、所望により、さらなるフォトレジスト溶媒で希釈することを特徴とする、ノボラック樹脂の部分エステル化方法に関する。
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