説明

ヘラエウス インコーポレーテッドにより出願された特許

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【課題】コスト効率良く、ルテニウム(Ru)及びRuベース合金を再生する。
【解決手段】ルテニウム(Ru)の固体又はRuベースの合金を供給するステップと、前記固体を分割して微粒子材料を形成するステップと、前記微粒子材料から鉄(Fe)を含む汚染物質を取り除くステップと、前記微粒子材料の粒径を小さくして粉末材料を形成するステップと、前記粉末材料から鉄(Fe)を含む汚染物質を取り除くステップと、前記粉末材料の酸素含有量を所定レベル以下に低下させて精製された粉末材料を形成するステップと、前記精製された粉末材料から所定の大きさよりも大きい粒子を取り除くステップと、を含んで構成されたルテニウム(Ru)及びルテニウム(Ru)ベース合金の再生方法である。 (もっと読む)


【課題】最適な構造を有する粒状垂直磁気記録層を得るために改良された中間層を成膜する。
【解決手段】50at.%超のレニウム(Re)と、少なくとも一つの合金化材料とを含んで構成されたレニウム(Re)ベース合金材料であり、前記合金化材料がレニウム(Re)の原子半径よりも大きい又は小さい原子半径を有し、室温以上の温度で六方稠密構造(hcp)のレニウム(Re)中に6at.%よりも小さい固溶度を有する微粒子化成分Xと、レニウム(Re)の原子半径よりも大きい又は小さい原子半径を有し、室温以上の温度で六方稠密構造(hcp)のレニウム(Re)中で固溶体の形態を有する格子整合成分Yと、から成る群から選択されたもので、酸化物、窒素化物及び炭化物から成る群から選択された少なくとも1つの材料を更に含んで構成されて、ターゲットにされる。 (もっと読む)


【課題】空隙、ミクロ割れ等がなく、機械強度及び機械加工性に優れた、真密度化された高密度のコバルト−タングステン・スパッタリングを製造する。
【解決手段】同じ粒度分布を持つCo粉末とW粉末を選択して混合し(ステップ701)、混合粉末を容器に詰め、脱ガスし(ステップ702)、混合粉末を熱間静水圧圧縮成形で固形物を形成し(ステップ703)、最終ターゲット寸法に機械加工する(ステップ704)。製造されたコバルト−タングステン・スパッタターゲットは、元素Co相及び/又は元素W相と、CoがWの原子パーセントより多いCo−W金属間化合物相と、WがCoの原子パーセントより多いW−Co金属間化合物相と、を含み、20〜80at.%のCoを含有し、且つ、密度がその理論的最大密度の99%より高い。 (もっと読む)


【課題】スピッティングを生じないようにした非金属を含む複数の物質から成るスパッタターゲット及びそのようなスパッタターゲットの製造方法を提供する。
【解決手段】スパッタターゲットは、コバルト(Co)、クロム(Cr)、ルテニウム(Ru)、ニッケル(Ni)又は鉄(Fe)から成る第1の物質と、炭素(C)、炭素(C)含有物質、炭化物、窒素(N)含有物質、窒化物、珪素(Si)含有物質又は珪化物、酸素(O)含有物質、酸化物、ホウ素(B)、ホウ素(B)含有物質又はホウ化物から成る第2の物質とを少なくとも含む複数の物質から成り、第2の物質は50ミクロン以下の平均サイズを有する相を構成し、第1の物質を15原子パーセント以上含有する。前記スパッタターゲットを、物質混合工程、混合物の容器詰め工程及びHIP圧密化工程を経て製造する。 (もっと読む)


【課題】望ましいミクロ組織、改善された化学的均質性及び延性を有する高PTFスパッタリングターゲットとして用いるための鋳造強磁性合金のための新規な鋳造法を提供する。
【解決手段】溶融強磁性合金を準備し、鋳型3を取り囲む磁気コアアセンブリを介して鋳型内部空間内にパルス磁場又は振動磁場を生成するために交流(AC)又は直流(DC)電力を使用し、溶融合金を鋳型に注ぎ、凝固体の溶融部分を撹拌するために凝固中に溶融合金にパルス磁場又は振動磁場を与え、凝固が完了するまで凝固体にパルス磁場又は振動磁場を与え続ける、ことを含む鋳造合金の製造方法。 (もっと読む)


【課題】PTF測定中に磁界検出器又は測定されるスパッタターゲットの表面にダメージを与えないようにする。
【解決手段】手動操作式又は自動式PTF測定装置に適用可能な磁界検出器保持機構400であって、磁界検出器410が配置可能な長溝を有し、磁界検出器保持機構本体内に保持される挿入部420と、磁界検出器保持機構本体に形成された少なくとも一つの孔に挿通され、挿入部420に機械的に接触して該挿入部420を磁界検出器保持機構本体内の所定位置に保持するように調整可能にされた少なくとも一つの留め具430と、を備えた構成とした。これにより、挿入部430で留め具430によって過度に締め付けられることによって磁界検出器410が損傷を受けるのを防止し、測定されるスパッタターゲット表面が引っ掻かれるのを防止することができる。 (もっと読む)


【課題】磁気データ記録粒状層の結晶化度と磁気結晶異方性を高めることにより、垂直磁気記録媒体に要求される熱安定性と雑音特性を達成すること。
【解決手段】磁気記録媒体200の基板202上に、ニッケル(Ni)と、面心立方ニッケル(Ni)相に対する溶解度が室温以上で50原子パーセント以下であり且つ1.5×10-73/kg以下の質量磁化率を有する合金化元素とからなるシード層204を付着し、続いて下地層206、磁気データ記録粒状層208を順次付着する。前記合金化元素は、ホウ素(B)、炭素(C)、マンガン(Mn)、銅(Cu)、イットリウム(Y)、ジルコニウム(Zr)、ロジウム(Rh)、銀(Ag)、カドミウム(Cd)、イッテルビウム(Yb)、ハフニウム(Hf)、イリジウム(Ir)、白金(Pt)、金(Au)、ビスマス(Bi)及びトリウム(Th)から選択される。 (もっと読む)


【課題】スパッタターゲットの磁場透過率を自動測定する。
【解決手段】スパッタターゲットの一方の側面で磁界を発生させ、該磁界をスパッタターゲットを透過させてスパッタターゲットの他方の側面に出力させ、磁界検出部により前記スパッタターゲットの前記他方の側面で磁界を測定し、自動機構を使用して測定中に前記スパッタターゲット又は前記磁界検出部の一方又は両方を移動させることによりスパッタターゲットの磁場透過率(PTF)を測定するものである。これにより、スパッタターゲットの地図作成を行なうようにし得る。 (もっと読む)


【課題】微細な磁区と許容範囲内の熱安定比を持ち、高い面密度を有する磁気データ記録層を備える磁気記録媒体及びそのためのスパッタターゲットを提供する。
【解決手段】磁気データ記録層106が、高い磁気異方性定数Kuを有する合金と、酸素と単一元素又は合金のいずれか一方とからなる酸化化合物とを含む。高いKuを有するため、約50〜70の許容範囲内の熱安定比を維持すると同時に磁気データ記録層の磁区を著しく小さくでき、これにより200Gb/in2(約31Gb/cm2)より大きな面密度を提供する。更に、そのような磁気データ記録層のスパッタリング用スパッタターゲットを提供する。スパッタターゲットは、高いKuを有する合金と、所望の酸化化合物又は反応的スパッタリングプロセスで酸化される元素のいずれか一方とを含む。高いKuを有する合金は、少なくとも0.5×107erg/cm3(0.5J/cm3)の磁気異方性定数を有する。 (もっと読む)


【課題】HAMRレーザによる加熱で発生する熱流速を良好に散逸できる熱支援磁気記録に好適な磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体100は、複数の粒界相107bによって分離された磁性粒子107aを有する磁気データ記録層107を含み、粒界相107bは、磁性粒子107aの熱伝導率より高い熱伝導率を有する。磁気記録媒体100は、更に、ヒートシンク層103と、磁気データ記録層107とヒートシンク層103の間に配置された1つ以上の中間層105,106とを含み、中間層105,106は、粒界相105b,106bで分離された結晶質相粒子105a,106aを有し、粒界相105b,106bは、結晶質相粒子105a,106aの熱伝導率より高い熱伝導率を有する。磁気データ記録層107と中間層105,106の粒界相105b〜107bは、磁気データ記録層107からヒートシンク層103へ熱を散逸するための高い熱伝導率の導管として機能する。 (もっと読む)


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