電子部品またはディスプレイの製造領域から基板を搬送し、基板を処理装置（４）へ供給するために設けられている搬送装置（５）は、基板搬送ボックス（２）のためのオーバーヘッド型搬送システムに接続している第１の搬出入接続部（７）と、処理装置（４）に接続している第２の搬出入接続部（２６）とを有している。第１の搬出入接続部（７）は鉛直方向に関し第２の搬出入接続部（２６）の上方に配置されている。このような搬送装置（５）を用いて搬送ボックス（２）内で基板を搬送するようにリンクしている生産設備において、処理装置（４）に供給される基板の供給順序で優れた順応性が可能であるようにするため、基板を、搬送装置（５）内に配置されている操作装置（１２）により、搬送ボックスから切り離して、一方の搬出入接続部（７または２６）から他方の搬出入接続部（２６、７）へ搬送可能にするための手段を設けることを提案する。
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基板、特に電子部品用基板の製造における対象物様保存装置には、対象物を保存するための少なくとも一つの閉鎖された区域を形成するハウジングが備えられている。保存装置は純エア装置も有し、それによってハウジングの少なくとも一部分内に純エア雰囲気が作り出され得る。保存装置に少なくとも一つの投入／排出装置を用いることによって、対象物はハウジングの内部に入れる又は内部から取り出すことができ、その場合対象物はハウジング内部の少なくとも一つのハンドリング装置によって取り扱うことが可能となり、対象物容器がハウジング内に設けられ、その中で対象物は一時的に移送コンテナの外側で保存され得る。このような保存装置に対してできるだけ小さな配置領域を定めるために、それは高い収容能力を有しているにも関わらず本発明は少なくとも部分的に上下に配置された二つの区域が保存装置の同ハウジング内に形成され、その際第一区域は対象物保存装置に用いられ、第二区域は移送コンテナ保存装置に用いられる、ものをもたらした。
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本発明は、プレート形状のサブストレート、特に電子部品を製造するために使用されるウェーハ又はテストウェーハを貯蔵するための装置に関する。互いに分離可能な装置の貯蔵要素が製造ミスの影響を受ける場合でもサブストレートへの確実なアクセスを可能にすることを目的とする。それぞれのサブストレートのために、スタック方向に互いに続き互いに移動できる多数の貯蔵要素を有する装置において、貯蔵要素は、積み重なった貯蔵要素内にそれぞれの貯蔵要素を配置するために設けられたスタック領域を有し、スタック方向のスタック誤差を補償するための補償手段が設けられる。
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本発明の目的は、いかなるウエハ（４０）にもアクセスが簡単な状態で、実質的に水平な、密集したウエハ（４０）の貯蔵を可能にすることである。この目的を達成するために、本発明では複数の積重ねた貯蔵要素（１０）を備えてなる機器が設けられ、上記貯蔵要素（１０）は、ウエハ（４０）を置くことが可能である手段（１６）を有する。貯蔵要素（１０）は、特定の貯蔵要素（１０ａ）と特定の貯蔵要素（１０ａ）の上に配置された全ての貯蔵要素（１０）を、所定の第一高さにだけ持ち上げることができる持上げ用突出部（１４）を有し、その結果、接触間隔を作り出す。突出部（１４）は、上記貯蔵要素（１０ａ）の下に配置される貯蔵要素（１０ｂ）を、所定の第二高さにだけ持上げることに用いることもできる。
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