【課題】テープ線の損傷を最小化しながら円滑なテープ線の供給が行われるようにする長尺テープ線上への蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１０の内部に、外周面に沿って螺旋状のガイド溝が設けられ且つガイド溝に沿って長尺のテープ線が巻き付けられているドラム３０と、ドラムの一側から離間して設けられた蒸着ソース４０と、ドラムの両軸側にテープ線の送りリール５０および巻き戻しリール６０とが位置し、ドラムが回転しながら蒸着ソースからテープ線２０上に特定の物質が蒸着されるようにするとともに、テープ線の送りと巻き戻しが行われるようにする長尺テープ線上への蒸着装置において、ドラムの内側で円周面に隣接して外側に突出するようにドラムの長手方向に長く設けられ、テープ線の移送方向に回転するスリップローラー１００を備え、テープ線の移動の際にガイド溝においてテープ線がスリップされる長尺テープ線上への蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】 長時間の放電維持が可能で、安定的な放電維持特性を有する中空カソード放電ガンを提供する。
【解決手段】 放電空間をなす中空を有し、一端に、前記中空にガスを流入するための第１開口部を有し、他端に、前記中空からガスを流出するための第２開口部を有する金属チューブと、前記金属チューブに長手方向に挿入されるフィラメントと、前記金属チューブ内の前記フィラメントの周囲に装着され、前記フィラメントの加熱によって２次電子を発生し、所定間隔で離隔される少なくとも二つ以上の電子放射部材とを含む。
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