マイクロ電気機械システムは、変形可能な部分に固定して取り付けられる変形可能な部分（１）および少なくとも１つの応力センサ（１０）を備える。センサ自体はベース部（２）を備え、変形可能な部分（１）上に分路部分（３）を並置し、接続体（４ａ―４ｄ）は、ベースおよび分路部分の電流の分布の変化を検出するために配置した。このようなシステムは、多くの応用例に適していて、特に原子間力顕微鏡の一部のアームを形成するため、またはバイオセンサの構成に入れるためにある。 （もっと読む）

【課題】ナノスケール繊維構造の合成方法及びその繊維構造を含む電子機器コンポーネントを提供する。
【解決手段】ナノスケール繊維構造を組み込む電子機器コンポーネント合成方法であって、金属触媒（７）がナノポーラス膜（３）に被覆される方法であり、ナノポーラス膜（３）における少なくともいくつかの細孔（８）を貫通する金属触媒が適合され、繊維構造は、ナノポーラス膜（３）中の少なくともいくつかの細孔（８）中における触媒上に成長される。ナノポーラス膜（３）は、単結晶領域を含む細孔（８）の壁を確保するために適合するように準備され、少なくとも触媒（７）の一部は、上記単結晶領域上にエピタキシャル成長される。 （もっと読む）