【課題】ほぼ全域に亘って導電性金属酸化物薄膜を除去可能な方法と装置を提供する。
【解決手段】基材１１表面の導電性金属酸化物薄膜１２に対向すべく、基材１１の移動方向に、絶縁体１７を介し、多孔体の正電極１４と、負電極１５を順に配置する。負電極１４を導電性金属酸化物薄膜１２と接触させ、両電極１４，１５と導電性金属酸化物薄膜１２間に電解液１３を介在させた状態で、両電極１４，１５間に電圧を印加し、基材１１を移動させて導電性金属酸化物薄膜１２を還元反応により除去する。その際、正電極１４から負電極１５へ向く方向と反対方向に電解液１３を供給し、還元反応により発生した基材１１表面の気泡を除去する。正電極１４表面や電解液１３中の気泡を正電極１４の背面側から吸引する。
【効果】基材の移動方向後端部に未還元のまま残留する導電性金属酸化物薄膜を減少でき、また加工速度を速くすることができる。 （もっと読む）

【課題】ほぼ全域に亘って導電性金属酸化物薄膜を除去する方法と装置を提供する。
【解決手段】基材１１の移動方向に、基材１１表面に形成された導電性金属酸化物薄膜１２に対向すべく、正電極１４と絶縁体１７と負電極１５を順に配置する。負電極１５を、導電性金属酸化物薄膜１２に接触するように位置させ、正電極１４及び負電極１５と、導電性金属酸化物薄膜１２間に電解液１３を介在させた状態で、正電極１４と負電極１５に電圧を印加する。基材１１を移動させることで、基材１１表面の導電性金属酸化物薄膜１２を還元反応により除去するに際し、正電極１４から負電極１５と反対の方向に向けて電解液１３を供給することで、前記還元反応により発生した基材１１表面の気泡を除去する。
【効果】基材の移動方向後端部に未還元のまま残留する導電性金属酸化物薄膜を減少でき、また加工速度を速くすることができる。 （もっと読む）

【課題】破砕された状態の基材に形成された導電性金属酸化物薄膜を除去する装置を提供する。
【解決手段】絶縁性の網目状部材１４で内周を覆った有底筒状体１２と、導電性金属酸化物薄膜が形成された基材２２を攪拌する攪拌翼１３と、この攪拌翼１３の回転駆動装置とからなる攪拌容器１１と、有底筒状体１３の内周側が正電極、攪拌翼１３が負電極となるように、有底筒状体１２の内周側と攪拌翼１３間に電圧を印加する電源装置１５を備える。攪拌容器１１内に電解液１６を入れ、この電解液１６を介して有底筒状体１２の内周側と攪拌翼１３間に電圧を印加しつつ攪拌翼１３を回転させて基材２２から導電性金属酸化物薄膜を除去する。
【効果】破砕された状態の基材に形成された導電性金属酸化物薄膜を、強酸や強アルカリの化学液を使用しないで効率良く除去でき、半導体分野で用いられる高価な機能性ガラス基板などの再生利用が可能になる。 （もっと読む）

【課題】基材に痕を残さず、導電性金属酸化物薄膜を除去する方法と装置を提供する。
【解決手段】基材１１に形成された導電性金属酸化物薄膜１２と対向して正電極１３ａと負電極１３ｂを配置する。導電性金属酸化物薄膜１２と、両電極１３ａ，１３ｂ間に電解液１４を供給しつつ、両電極１３ａ，１３ｂに電圧を印加して、基材１１を正電極１３ａ、負電極１３ｂに対して移動し、還元反応により導電性金属酸化物薄膜１２を除去する。その際、所要間隔を存して配置されるローラ１３ｂｃ間を、導電性金属酸化物薄膜１２と接触させた状態で回転するメッシュ状の無端ベルト１３ｂｄを負電極１３ｂとして使用する。無端ベルト１３ｂｄ内に、無端ベルト１３ｂｄを介して導電性金属酸化物薄膜１２と対向すべく正電極１３ａを配置する。
【効果】基材に痕を残さず、導電性金属酸化物薄膜を端部まで効率良く除去でき、高価な機能性ガラス基板などの再生利用が可能になる。 （もっと読む）