【課題】天板や冷却パイプの損傷を防止するとともに、冷却状態を均一にし、双方のメンテナンス性を大幅に改善するコールドテーブル型冷却装置を提供する。
【解決手段】蓄冷性の天板１と、冷凍機８からの冷媒を流通させる冷却パイプ２が金属板３の板面に取り付けられて構成された冷却ユニット１８とを備え、上記天板１と冷却ユニット１８は、上記天板１の下面に上記金属板３の他面を対面させて天板１に冷熱を伝達可能な状態のセパレート状態で配置した。 （もっと読む）