反射率対光路差の明確なプロファイル（ミラー項の無いＡスキャン）を供給し、正の光路差と負の光路差との間に差を付けるか、又は光路差の選択された間隔で出力を与えるためのスペクトル干渉装置及びスペクトル干渉法が提供される。その装置は、光源からのビームを目標物体（５５）に送出し、物体ビームを生成する物体光学系と、参照ビームを生成する参照光学系とを備える。物体ビーム（４１’）及び参照ビーム（４２’）との間に間隙（ｇ）を生成するための変位手段（５７）が設けられる。回折格子及びプリズムのような光スペクトル分散手段（７）が、２つの相対的に変位したビームを受光し、それらのスペクトル成分をＣＣＤのような読取り素子上に分散させる。変位手段及び光スペクトル分散手段の組み合わせは、物体ビーム及び参照ビームの波列間に固有の光学的遅延を生成し、この固有の光学的遅延を干渉計内の光路差とともに用いて、干渉計内の光路差のためのチャネルドスペクトルを読取り素子上に生成することができる。

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