この発明は、圧電的に作動するマイクロ機械のダイアフラムを提供することに関する。前記圧電ダイアフラムは、中央部に、不活性な非電極形成領域と、中央領域の外周に隣接する環状のインターデジタル電極と、を含む。あるいは、前記ダイアフラムは、環状の不活性な非電極形成領域と、中央の活性なインターデジタル電極部と、を有していてもよい。また、前記ダイアフラムは、たとえばミニチュアポンプなどに用いることができる。前記ポンプは流体の蠕動的な移送を生じさせる複数のチャンバーを含んでいてもよい。 （もっと読む）