本発明は、複数の開口部（１２）を含みそれらの開口部の輪郭が所望のパターンに相当するレリーフ部を上面に備えたテンプレートの製造方法に関する。本発明はさらに、そのようなテンプレートに関する。本発明の目的は、高さがより大きいレリーフ部を実現可能にし、その結果、適用されるパターンの設計自由度を高めることである。この目的は、以下の各ステップによって達成される。少なくとも１つの非穿孔状態の非金属製レリーフ層（１１）を有するテンプレート本体（１０）を用意する。レーザまたはプラズマ照射によって、レリーフ層（１１）の材料をパターン状に除去して、レリーフ部の複数の開口部（１２）を形成する。ここで、少なくともレリーフ部の開口部（１２）の底領域には、上面の反対側である裏面まで延びる貫通開口部が設けられる。このようにして、テンプレートが得られる。そのテンプレートは、少なくとも１つの非金属製レリーフ層（１１）を備えたテンプレート本体（１０）を有し、その上面に、複数の開口部（１２）を含みそれらの開口部の輪郭が所望のパターンに相当するレリーフ部が形成されている。少なくともレリーフ部の開口部（１２）の底領域には、上面の反対側である裏面まで延びる貫通開口部が設けられている。
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本発明の真空抽出装置は、放射線とワークピースの表面との間の相互作用領域を覆い、真空抽出チャネル（１２）を含むフード（１１）を備える。真空抽出チャネルの入口開口（１５）は、フード（１１）の動作位置においてワークピース表面と対向して位置し、かつ真空抽出ライン（３８）に接続可能である。本発明の目的は、円筒型ワークピースの加工中に形成される研磨生成物及び分解生成物、例えば、エアロゾル、蒸気、ヒュームまたはガスなどが環境に放出されるのを防ぐことである。これを達成するため、前記装置には、さらに、ワークピースの円周に沿って、互いに一定距離を隔てて配置された２つの端部を有し、対向する２つの横壁（１８）と、これらを互いに接続するベース壁（１９）とによる実質的にＵ字型の断面を有するＣ字型カバーリング（１３）が設けられている。フード（１１）は、カバーリング（１３）の２つ端部の間に位置している。
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本発明は、その動作位置において放射線とワークピース表面との相互作用領域を覆うフード（１０）を含む。フード（１０）は、真空ライン（１３）が接続可能な後部面（１１）と、フード（１０）の動作位置においてワークピース（２０）に対向して位置する縁端部（１９）を含む２つの横壁（１６）と、これら横壁（１６）の間に、これに対して横方向に延び、２つの横壁（１６）とともにフード（１０）の真空チャネル（１４）を画定する、２つのガイド壁（１７，１８）からなる。また、２つのガイド壁の一方（１７）の端部（２１）がフード（１０）の動作位置においてワークピースに対向して位置し、他方のガイド壁（１８）が、フードの動作位置においてワークピースの表面に対向して位置する凸型の円筒湾曲を有し、この湾曲の近くに、少なくとも１つの開口を有し、これを通過して、ワークピース表面を彫刻するための放射線がガイドされる。
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