【課題】レジスト塗布工程において発生するフリンジ部の幅と高さをより小さくすることが可能なフォトマスクブランクスを提供する。
【解決手段】透光性基板１の主表面２と面取り部４との間に、面取り部４の俯角Ｘに対して小さく、俯角Ｙが１０°以上２０°以下になるような傾斜部１１を形成することにより透光性基板１の周縁部３におけるレジスト１３のフリンジ部９の幅Ｗと高さＨを低減することができる。 （もっと読む）