【課題】チャンバーの壁面から粒子が発生することを防止する、簡便に使用可能な軟Ｘ線光イオン化荷電器を提供する。
【解決手段】粒子を含むエアロゾルの流路をなすチャンバーを持ち、外面一側に、前記チャンバーと連結される孔が形成されているハウジングと、前記ハウジングの孔に装着され、前記チャンバーに軟Ｘ線を照射して前記粒子を中和するヘッドを持つ光イオン化装置と、前記チャンバーと前記ヘッドの間に装着され、前記軟Ｘ線が透過可能な材料からなる透明窓とを具備する軟Ｘ線光イオン化荷電器が提供される。当該軟Ｘ線光イオン化荷電器は、前記透明窓の縁部に配置され、前記孔に密着する軟質の支持リングをさらに具備する。前記透明窓は、硬度が２．５以上であり、厚さが０．３ｍｍ以下である。前記透明窓はスライスガラス及びスライス雲母のいずれか１種でなる。 （もっと読む）

本発明は、クリーンルームなどの清浄空間内に存在する低濃度の粒子の個数と大きさ別の分布などを迅速且つ容易に測定することが可能な粒子測定器及び粒子測定方法を開示する。本発明に係る粒子測定器及び粒子測定方法は、粒子を単極性に荷電させ、電極に電圧を印加して一定の大きさ以下の荷電粒子を付着させて捕集させ、一定の大きさ以上の荷電粒子を粒子分離ダクトによって粒子の大きさ別に分離して粒子の個数を測定する。本発明に係る粒子測定器は、１回の測定により空気中の粒子の大きさ分布を求めることができ、空気中に含まれた粒子の個数が少なくても、粒子の大きさ別の分布を迅速且つ容易に求めることができるという効果がある。

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