ウエハに液状ドーパント溶液を塗布するための機器は、ドーパント分配機器と、第一ローラ位置及び第二ローラ位置の間で水平方向に並進可能な回転可能ドーパント移送ローラと、ウエハを保持するためのワークテーブルと、を備えて成り、分配機器は、ドーパント移送ブロックと端部によって囲まれた開放側面を有する流体容器とを備えて成り、当該開放側面はドーパント移送ブロック方に向けられ、ブロックホルダーは、ドーパント移送ブロックが流体容器の開放側面の下にある第一ブロック位置と、ドーパント移送ブロックが回転可能ドーパント移送ロールにその第一ロール位置で接触する第二ブロック位置との間で水平方向に並進可能であり、通常運転の間に、第二ロール位置では、回転可能ドーパント移送ロールは、ウエハの表面上にドーパント溶液を与えるためにウエハと接触してきている。
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