歪みセンサをポリマ・フィルムから形成する方法は、ポリマの表面を高エネルギ放射でもって選択的に放射して、ポリマの組成を変え、且つ表面の選択された部分の導電率を増大するステップを含む。当該放射は、炭化した粒子又は金属性粒子をポリマ内に生成し、そしてポリマ内の導電性粒子間の粒子間ギャップの変化が、歪みに依存する電気特性を、処理されたポリマの中にもたらす。
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表面弾性波センサは、ａ）その表面上に交叉指状電極を有する圧電結晶（ニオブ酸リチウム又はタンタル酸リチウムのようなもの）と交叉指状電極の上の第２の圧電層（酸化亜鉛のようなもの）とから成る第１の層状ＳＡＷデバイスと、ｂ）その表面上に交叉指状電極を有する圧電結晶と、交叉指状電極の上の第２の圧電層と、第２の圧電層の上の検体感応表面（金のようなもの）とから成る第２の層状ＳＡＷデバイスとを備える。ｃ）ＳＡＷデバイスの両方は、同じ基板上に製作される。表面弾性波センサは、ｄ）ＳＡＷデバイスの帯域幅を低減するため各ＳＡＷデバイスの交叉指状電極に隣接して配置された反射器を更に備え、ｅ）各ＳＡＷデバイスの共振器回路は、従属性の増幅器を組み込んでいる。
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