電気機械装置（２０１）は、第２及び第３の基板（２２０ａ〜ｂ）の内面を、第１の基板（２３０）に取り付けることによって形成された支持構造（２１０）を備える。支持構造（２１０）は、第２の基板と第３の基板（２２０ａ〜ｂ）との間に、少なくとも１つの空洞（２５０）を備える。圧電要素などの電気機械活性要素（２６０ａ〜ｂ）が、第２又は第３の層（２２０ａ〜ｂ）のうち少なくとも一方の外面上に設けられる。 （もっと読む）