【解決手段】 開示されている表面パターン形成システム及び方法の幾つかの実施形態は、支持体に連結され、材料を基板上に付着させるようになっている表面パターン形成ツールと、制御器と、制御器に電気的に連結され、それによって制御される第１、第２、及び第３作動器と、を利用している。或る実施形態では、第１、第２、及び第３作動器は、基板を、表面パターン形成ツールに対してＸ、Ｙ、及びＺ方向それぞれに動かすように操作することができ、基板は、第１、第２、及び第３作動器によって、表面パターン形成ツールに対して異なる位置に動かすことができ、材料は、表面パターン形成ツールから基板の異なる位置それぞれに、所望の表面パターンを画定するために移すことができる。開示されている幾つかの実施形態の１つ又は複数の作動器は、圧電作動器である。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明の幾つかの実施形態は、物質を受動吸着により通過させる開口部（１０４）が形成された細長い梁部（１０２）から、物質を表面上に堆積させる装置と方法を提供している。細長い梁部は、実質的に全長に沿って実質的に平面状であり、堆積工程時には、表面に対して鋭角を成すように配置され、長さは約２ｍｍ以下である。幾つかの実施形態では、開口部は、細長くて、物質貯留部（１０６）から、細長い梁部の終端部手前の位置まで伸張するか、細長い梁部の終端部を貫通して伸張しており、且つ細長い梁部の厚さを貫通して伸張している部分を有している。 （もっと読む）