【課題】接合材による接合部が多層にわたり形成された電子部品を検査対象として複数のスライス画像の中から接合部の検査に最適な画像を自動で抽出することができる接合部の放射線検査装置、接合部の放射線検査方法、電子部品の生産装置を提供する。
【解決手段】はんだ接合部のＸ線検査装置３０のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、パワーモジュールＭｐを変位させながらＸ線を照射して受光器３２によってはんだ接合部についての複数のＸ線画像を撮像し、複数のＸ線画像から３次元再構成データを生成し、生成した３次元再構成データからパワーモジュールＭｐの接合面に沿った各層のスライス画像を抽出する。パーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、各層のスライス画像について輝度ヒストグラムの平均値を算出して、算出した輝度ヒストグラムの平均値が最大のスライス画像をはんだ接合部の状態の検査に最適な画像として抽出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被検体の周囲の対向する位置に配設されたＸ線源とＸ線検出器とを被検体の周囲で相対的に回転させ、該回転の周方向の多数の位置で取得した被検体のＸ線透過像に基づいて該被検体の断層像を生成するＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のＸ線ＣＴ装置は、水ファントムのＸ線透過像に基づいたキャリブレーションデータを取得し記憶する水キャリブレーションデータ記憶手段と、空気層のＸ線透過像に基づいたキャリブレーションデータを取得し記憶するエアキャリブレーションデータ記憶手段とを有し、これに加え所定の物体のＸ線透過像に基づいたキャリブレーションデータを取得し記憶する補助キャリブレーションデータ記憶手段を有している。このＸ線ＣＴ装置は、水キャリブレーションデータとエアキャリブレーションデータと補助キャリブレーションデータとを用いてキャリブレーション演算を行う。 （もっと読む）

【課題】 水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、回転Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視の諸機能を実現できる多機能Ｘ線検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は、Ｘ線を照射するＸ線管と、対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、対象物を挟んでＸ線管とＸ線検出器をＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を同一線上に位置するように支持するアームと、３次元方向に移動制御可能な架台と、架台上に設置される回転ステージと、架台又は回転ステージに支持されて対象物を設置する手段と、アームをＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を結ぶ光軸上の点を回転中心として、対象物がセットされる水平面に対して回転させる手段とを有する。回転Ｘ線ＣＴの場合、少なくとも360°一様なスピードで回転させる。水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視では、０から９０°の範囲で回転させ、その角度で撮像する。 （もっと読む）