【課題】 プラズマ生成に有効な高周波電力を、精度よく、短時間で制御して供給できる高周波電源装置および高周波電力供給方法を提供する。
【解決手段】 プラズマ処理室５へ、第１の周波数ｆ_１の高周波電力を供給する第１高周波電源部１１および第２の周波数ｆ_２（ｆ_１＞ｆ_２）の高周波電力を供給する第２高周波電源部７１を、少なくとも備え、第１高周波電源部１１に、第１の周波数の高周波電力を発振する、周波数可変の第１高周波発振部１６と、第１高周波発振部の出力を受けて、その電力を増幅する第１電力増幅部１５と、反射波をヘテロダイン検波するヘテロダイン検波部１３と、ヘテロダイン検波部で検波された信号および進行波信号を受信し、第１高周波発振部の発振周波数および第１電力増幅部の出力を制御する第１制御部１４とを備える。 （もっと読む）