【課題】スキャナーの整列誤差に起因するイメージの歪曲が防止された走査探針顕微鏡及びそれを利用した測定方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）探針と、（ｉｉ）探針の位置を直線上で変化させる第１スキャナーと、（ｉｉｉ）サンプルの位置を平面上で変化させる第２スキャナーと、（ｉｖ）第２スキャナーによるサンプルの位置変化がなされる平面が、第１スキャナーによる探針の位置変化がなされる直線に対して垂直になるように、第２スキャナーまたは第１スキャナーの位置を調整する調整装置と、を備えることを特徴とする走査探針顕微鏡及びそれを利用した測定方法である。 （もっと読む）