【課題】温度以外の環境要因の影響を受け、測定回路内で変化する寄生容量を原因とするセンサ出力信号のドリフトを減少させ、渦電流センサの測定精度を向上させる。
【解決手段】ヘッド部分を持つセンサ回路を有する渦電流センサにおいて、センサ回路は、センサ・コイル、ベース部分、ヘッド部分をベース部分に接続する通信ケーブルを含む。センサ・コイルは、内部導体とケーブルの外側シールドとの間に接続される。ベース部分は、ケーブルの線路容量をセンサ・コイルから分離し中心導体の電圧を緩衝し、３軸ケーブルの内側シールドに印加する電圧フォロワを備える。 （もっと読む）