高純度シリコン被覆粒子の生産用の流動床反応器システムを開示する。容器は、外部壁と、該外部壁の内面に面する断熱層と、該断熱層の内側に配置された少なくとも一つのヒーターと、該ヒーターの内側の着脱式同心状ライナーと、中央注入ノズルと、複数の流動化ノズルと、少なくとも一つの冷却ガスノズルと、および少なくとも一つの生成物排出口とを有する。システムは、ライナーの内側に着脱式同心状スリーブを含み得る。特定のシステムにおいて、中央注入ノズルは、反応器チャンバーの中央に第一ガスの垂直プルームを生成し、反応器表面上へのシリコン堆積を最小限にするように構成される。
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シリコン又は反応金属を製造するための方法であって、（ｉ）反応スペースに面する内側表面及び（ｉｉ）反対側の外側表面を有する反応炉チャンバ壁を具える反応炉チャンバへ、シリコン含有原料又は反応金属含有原料を導入するステップと、前記反応スペース内で、液体シリコン製品又は液体反応金属製品を発生させるのに十分な第１の熱エネルギーを発生させるステップと、第２の熱エネルギーからの熱流が、最初に前記反応炉チャンバ壁の外側表面に影響を与えるように、前記反応炉チャンバ壁の外へ第２の熱エネルギーを発生させるステップと、前記第１の熱エネルギー源及び前記第２のエネルギー源を制御することによって、内側表面壁の温度を、シリコン又は反応金属の融点を超えて又は融点未満である温度範囲に確定するステップとを含む。 （もっと読む）

固体マルチ結晶シリコンインゴット又はウェハの製造方法であって、（ｉ）反応スペースに面する内側表面及び（ｉｉ）反対側の外側表面を有する反応炉チャンバ壁と製品出口とを具える反応炉チャンバへ、シリコン含有ガスを導入するステップと、前記反応スペース内でプラズマを発生させるステップと、前記シリコン含有ガスに十分な温度を与えることによって液体シリコンを製造するために、当該シリコン含有ガスを熱分解するステップと、前記シリコン含有ガスを熱分解しながら、前記反応炉チャンバ壁の内側表面を、シリコンの融点未満の平衡温度に維持するステップと、前記製品出口からの液体シリコンを固体マルチ結晶シリコンインゴット又は固体マルチ結晶シリコンウェハに鋳造するために、当該液体シリコンをモジュールへ直接導入するステップを含む。 （もっと読む）

ポリシリコンが、シリコン含有ガスの熱分解およびシリコンの堆積により、流動化されたシリコン粒子の上に形成される。複数の複数沈降噴流層リアクター（１０）および二次オリフィス（２０）を有するリアクターが開示されている。 （もっと読む）

ポリシリコンをチューブ又は他の中空体上に堆積させる。該中空体は、従来のジーメンス型反応器のスリムロッドに取って代わり、簡単な抵抗素子で内部加熱することができる。該中空体の直径は、シリコンのスリムロッドの表面積よりも非常に大きな表面積をもたらすように選択される。該中空体の材料は、冷却すると直ぐに、収縮差に起因して、堆積したポリシリコンが中空体から容易に剥がれて、回収容器中に落下するように選択することができる。 （もっと読む）

水素を、四塩化ケイ素及び／又は塩化水素と、銅等の触媒材料の一種以上の化学気相成長によって表面を変性したシリコンと反応させて、水素含有クロロシランを合成する。 （もっと読む）

本発明は、方向性凝固法を用いた結晶シリコンインゴット、結晶シリコンウエハ及び太陽電池の改良された製造方法に関するものであり、特には、方向性凝固法に用いる型の装入及び準備方法に関するものである。少なくとも１つのロッド多結晶シリコンの断片と、少なくとも１つのチャンク多結晶シリコン、チップ多結晶シリコン又は粒状ポリシリコンとを型に装入することで、ポリシリコン含有物の充填密度及び熱伝導度が増大すると共に製造サイクルを実施するのに消費される資源量が少なくなり汚染が低減される。
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