【課題】 自由空間リアクタ内において、超高純度のシリコン含有ガスを粒子シリコン及びその他の分解生成物に分解することにより半導体級シリコンを連続生産するための方法及びリアクタを提供する。
【解決手段】 リアクタ内において、分解ガスの気体ストリームは旋回運動に設定される。当該方法およびリアクタはさらに、形成された粒子シリコンを溶融して、単体シリコンの連続相を得、液体シリコンを成型して半導体級シリコンの固体を形成する手段を有してもよい。 （もっと読む）