本発明は、電子ビームを発生し集束させる装置を提供し、この装置は、真空チャンバ（４）と、電子の発生源（２）と、ターゲット（６）と、電子ビームを構成する電子の流れをターゲットの方へチャンバ中を通して加速するための電界を作り出す手段と、電子ビームと交差する磁界をもたらす手段（１２）とを含み、磁界の磁束がターゲットの方向に漸次に減少することを特徴とする。
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