【解決手段】サーモード素子をきれいにする方法は、サーモード素子にエネルギパルスを加えることを含む。エネルギパルスは、サーモード素子の温度をサーモード素子の使用温度よりも高くすることを含む。サーモード素子をきれいにする方法は、周期的に、使用温度におけるはんだづけサイクルを所定の回数行うことと、エネルギパルスをサーモード素子に加えることと、を含んでもよい。 （もっと読む）

ウエハーハンドリングシステムは、少なくとも１つのアンロードステーション、一定の角度でウエハーを保持するように設計された少なくとも１つの中間ステーションと、処理ステーションと、ステーション間でウエハーを移動するように構成された移送装置と、を含む。中間ステーションは背合わせ配置のウエハーを受け取るように構成されてもよい。ウエハーハンドリング装置は、片側には個々のウエハーをつかむように構成された真空グリッパと、反対側には、ウエハーの下に配置されて持ち上げられると１つまたは複数のウエハーを支持するように構成された重力グリッパとを、含む。ウエハーハンドリング方法は、ウエハーをアンロードする工程と、中間ステーションにウエハーを移送する工程と、中間ステーションから処理ステーションにウエハーを移送する工程と、ウエハーを処理する工程と、処理ステーションからウエハーをアンロードする工程と、キャリヤ内にウエハーを再ロードする工程と、を含み、ウエハーは移送装置によりアンロードされ、移送され、再ロードされる。
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本書の一態様によれば、物体を把持するための真空グリッパー組立体が提供され、真空グリッパー組立体は：平らなプレートを含むグリッパーフィンガー；真空パッド；グリッパーフィンガーに対して真空パッドを支持するための支持システム；および真空グリッパー組立体が物体を把持していないときに、少なくとも１つの真空パッドをグリッパーフィンガーの平らなプレートに対して全体的に平らな向きにして安定させるように適合された安定化構造を含む。
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シャンクと、先端とシャンクと先端との間の融合部であって先端内の熱の閉じ込めを改善するために抵抗勾配を与えるように構成された融合部と、を含む熱極を提供する。熱極はまた一体化冷却用ノズルを含んでもよい。シャンク、先端、融合部および一体化冷却用ノズルすべてが単一の工作物で形成されてもよい。熱極はまた、シャンクと一体化された小型取り付け台により形成されてもよい。小型取り付け台は、熱極を締め付け構造から効率的に交換するように、締め付け構造と結合されることができる。
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下部ルーフデッキ上に取り付けられるソーラーパネルオーバレイ（１１０、３１０）は、基板（１８０）と、基板上の少なくとも１列の太陽電池（１２２）とを有する。太陽電池は、下部ルーフデッキの外観を模倣した外観を有する太陽エネルギー収集面（１１２）を形成する。複数の相互に連結されたソーラーパネルオーバレイを有するソーラーパネルオーバレイ組立体（２５０、２６０、３５０）も提供される。
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