説明

ロッコ・システムズ・プライベイト・リミテッドにより出願された特許

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ピッカー組立体は、選択的に変更できる間隔をあけて配置される関係にある複数のピッカーと、同軸上にあると共に変更できる厚さを有する複数のカムプレートを有するシャフトと、前記ピッカーと係合すると共に前記ピッカー間の隙間間隔内に位置付けられる前記カムプレートとを有し、間隔を選択的に変更できることは、前記カムプレートの厚さ変動によってそれぞれのピッカーを前記シャフトに平行な軸に沿って移動するようにした前記シャフトの回転によって与えられる。
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1組の集積回路ユニット(65)を支持するための支持装置において、凹部(27)の配列を備える金属表面を有する支持部材と、金属表面との接触により生じる損傷からユニット(65)を保護するように金属表面の凹部を覆う軟質材料層と、前記凹部(27)と連通し、それぞれの凹部内に各ユニットを支持するようになっている真空手段(35)とを備え、軟質材料層は複数の独立したインサート(40)で形成され、各インサート(40)を少なくとも1つの凹部(27)と係合させるための係合手段(50、55)を用いて各インサート(40)が少なくとも1つの凹部と係合可能であることを特徴とする支持装置。
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基板内の集積回路ユニットを単体化するために基板をダイスカットするシステムは、チャックテーブル(4)とともに動作するダイシング機(Z)を有している。リフトアッセンブリ(Ax、Ay)は、先に単体化されたユニットをチャックテーブル(4)から取り外すのとほぼ同時に、単体化されるべき基板をチャックテーブル(4)上に置く。
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