【課題】半透光部に発生した欠陥を好適に修正できるグレートーンマスクの欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】遮光部２１と、透光部２２と、マスク使用時に用いられる露光光の透過量を所定量低減する半透光部２３とを有するグレートーンマスク２０の欠陥修正方法であって、半透光部２３が半透光膜２６により形成され、半透光部２３において欠陥が生じたときに該欠陥部分５１，５２を特定する工程と、該欠陥部分５１，５２を含む半透光部であって、他の遮光部および／または透光部によって囲まれた領域の半透光部２３全体の半透光膜２６を除去する工程と、該半透光膜２６を除去した領域５３に、上記半透光膜２６とは素材又は組成の異なる半透光性の修正膜２７を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】半透光部に発生した欠陥を好適に修正できるグレートーンマスクの欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】半透光部は半透光膜２６により形成され、半透光部において欠陥５０、５１が生じたときに該欠陥部分を特定し、特定した欠陥部分に修正膜２７ａ、２７ｂを形成するための成膜手段と成膜素材を決定し、決定した成膜手段と成膜素材を適用したときに、露光光の透過量が所定範囲となるような成膜面積を決定し、決定した成膜面積の修正膜２７ａ、２７ｂを形成する。 （もっと読む）