ディー.バイス サイエンティフィック インコーポレーテッドにより出願された特許
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直接像の技術を使用した平面の媒質の光学検査
本発明は1枚のガラスなど、透明な媒質内の欠陥を検出する方法およびシステムに関する。その方法は、光源から透明な媒質に向かって光を送出するステップと、次いで光が透明な媒質で反射されまたは透明な媒質を透過するとき、光を走査することによって透明な媒質内の欠陥を検出するステップとを含む。その方法およびシステムは、暗視野モード、走査向け明視野モード、または検査向け明視野モードのいずれか1つで動作してもよい。
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