【課題】集積回路技術と互換性がある完全に一体化した安価なマイクロ発電機を提供する。
【解決手段】マイクロ発電機は、集積回路（ＩＣ）ウエハを含む。微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）ウエハはＩＣウエハに接合され、使用中に移動するように配置されたマイクロ機械素子を含む。連係する複数の溝とともに複数の第１金属コイルが、ＩＣウエハ及び／又はＭＥＭＳウエハの一部として具現される。複数のマイクロ磁石が設けられ、各々は各溝と連合し、ＭＥＭＳウエハ又はＩＣウエハに蒸着、メッキ又は接合された磁石層から形成される。使用中に、マイクロ機械素子の移動により、コイルに電圧を発生させる。 （もっと読む）

【課題】微小電子システム自体の複雑さを最小化しながら、高歪みに曝される圧電材料を最大化するエネルギー回収機を提供する。
【解決手段】マイクロ電気機械パッケージは、ケーシングと超小形電子回路を含む。ケーシングの少なくとも一部分は、使用中にその少なくとも一部分における動的な機械的歪の変化が電荷が発生させるように配置された圧電材料を含む。 （もっと読む）

【課題】より丈夫で、特に、広い温度範囲、振動応力及び重力荷重において剛性と安定性を保持することが可能なセンサを提供する。
【解決手段】 ＭＥＭＳデバイスを支持するための基板を提供する。基板は、使用に際してＭＥＭＳデバイスを支持するための一体成形の台座マウントを備えた収納容器を含む。センサーを形成するために、基板はＭＥＭＳデバイスと組み合わせることができる。 （もっと読む）