【課題】小さな電界で大きな出力の軟Ｘ線を安定した状態で大面積状に発生することができるとともに、発生したＸ線の照射方向を制御して非照射物に対して効率良く集中させて照射することが可能な、安価で性能の良い軟Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】密閉可能な筒状の真空ハウジング内に、ハウジングの内壁面の長手方向に沿ってＸ線放出物質により構成されたわん曲面を有する陽極を設け、基材表面に針状体を密集して形成させた電極材料からなる冷陰極を前記陽極と間隔を空けて平行に配置してなり、陽極から発生するＸ線を冷陰極側に放射することを特徴とする軟Ｘ線発生装置。 （もっと読む）

【課題】小さな電界で大きな出力のＸ線を安定した状態で発生することができる、安価で性能の良いＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】密閉可能な真空ハウジング内に、導電性繊維の円周方向に放射状に酸化亜鉛系ウィスカーを成長させた電極材料により構成された冷陰極と、陽極を間隔を空けて対向配置することによりＸ線発生装置を構成する。冷陰極と陽極の間には、メッシュ状の引出し電極を配置することができる。好ましい酸化亜鉛系ウィスカーとしては、アルミニウム添加酸化亜鉛ウィスカーが用いられる。 （もっと読む）