本発明は、少なくとも１つの高エネルギの加工ビーム（２２）、特に電子ビームまたはレーザービームを準備するように形成された、少なくとも１つの加工ヘッド（１６）を有する加工装置（１０）に関する。この種の加工装置は、工作物（２８）において材料を除去するため、あるいは工作物（２８）を材料結合で結合するため、特に溶接するために、使用される。本発明によれば、加工ヘッド（１６）に、表面走査のために設けられた、光学的な干渉トモグラフとして形成された、少なくとも１つの走査装置（３２）が対応づけられていることが提案される。さらに、光学的干渉トモグラフを用いて、工作物の未加工の、加工された、あるいは加工中の表面領域を走査するために、高エネルギの加工ビームを使用しながら、材料を加工する方法が提案される。
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【課題】最適な測定特性を有するが、断面が少なくとも１つの空間方向において可能な限り小さな寸法を有する測定ヘッドを有する装置の実現。
【解決手段】曲面26の非接触測定のための装置であって、(a)連続したスペクトルを有する光を生成する光源と、(b)光源に対応する光出口面と、(c)光出口面を投影するための色収差を有する光投影システムを有する測定ヘッド10と、(d)光システム22を通して測定される表面に向けられ及びそこから反射される光のスペクトル強度分布を記録する光スペクトル装置と、(e)光システムと表面の間の距離が記録された強度分布が部分的な最大値を有する各波長に対応付けることができるようにする評価ユニットと、を備え、測定される表面26がX方向では平坦であり、光システム22の光軸はX方向において表面26に垂直で、光軸24に対して垂直なこのX方向において光システム22の幅が小さくされている。 （もっと読む）