【課題】本発明は、低電力アプリケーションのためにデザインされて低いプログラム電流／電圧を利用して信頼性があって効果的にプログラムできる半導体集積ヒューズ装置及びその形成方法を提供する。
【解決手段】集積ヒューズ装置は陽極、陰極及び陽極と陰極間に形成されたヒューズリンクを含むポリシリコン層である。ヒューズリンクは第１不純物濃度を有するドーピング第１ポリシリコン領域と、前記第１不純物濃度よりもっと高い第２不純物濃度を有するドーピング第２ポリシリコン領域を含むポリシリコン層、及び前記ポリシリコン層上に形成された導電層で、前記ヒューズリンク上の導電層の厚さは変化して、前記ドーピング第１ポリシリコン領域上の導電層部分は第１厚さを有し、前記ドーピング第２ポリシリコン領域上の導電層部分は前記第１厚さより薄い第２厚さを有する導電層を含む。 （もっと読む）