【課題】電子線を透過しポンプレスでも一年間真空を保つシール方法を提供する。
【解決手段】ヘリウムリークタイトな膜をフランジに金属シールしてヘリウムリークタイトな装置を作る。金属シールは次のようにして実現可能である。Ｉ．気密側のシール用ブロック、１Ｉ．シール用ブロック材料およびシール膜のいずれよりも柔らかい金属ガスケット、２ＩＩＩ．シール膜、３ＩＶ．高圧側のシール用ブロック、４の順に重ねシールする。 （もっと読む）

【課題】電子銃が真空に保たれる走査型電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】電子銃窓３５に加速電子を透過し大気に耐える金属膜、炭素膜、ダイヤモンド膜、ダイヤモンドライクカーボン膜を設け、
密封容器３３内が真空に保たれる電子銃２
を備える走査型電子顕微鏡装置１とする。 （もっと読む）