第１基板上に複数の環状電極が直列連結されるコイル部が形成され、第１基板と一定距離で平行に対向する第２基板上に環状電極と一対一対応する磁歪物質薄膜が形成され、コイル部と磁歪物質薄膜とがインダクターを構成し、外部の圧力によって磁歪物質薄膜の透磁率変化を誘導させてコイル部のインダクタンスを変化させるインダクターアレイ部と、インダクターアレイ部とＬＣ共振回路とを構成し、インダクターアレイ部で放電される磁気的エネルギーを電圧形態に変換させて保存するキャパシタと、を備える磁歪効果を利用した可変インダクター型のＭＥＭＳ圧力センサーである。これにより、本発明は、既存の圧抵抗型または静電容量型センサーに比べてさらに敏感であるので、解像度が優秀であり、半導体工程と互換可能なＭＥＭＳ工程技術を利用して製作されるので、小型化及び大量一括工程が可能であるので、生産コストが減らせる。 （もっと読む）

エネルギー捕集型の表面弾性波基盤の無電源／無線センサーを備える。
本発明の無電源／無線センサーは、周辺の物理的な環境変化による機械的エネルギーを電気的エネルギーに変換するエネルギー変換部と、エネルギー変換部で発生した電気エネルギーを整流して保存するエネルギー保存部と、エネルギー保存部に保存された電気エネルギーを供給されてＲＦ信号を発生させて出力するパルス発生部と、外部から加えられる圧力を感知する感知部と、パルス発生部からＲＦ信号を印加されて表面弾性波を発生させ、その表面弾性波に対応するＲＦ信号と感知部に加えられた圧力の大きさによって表面弾性波を可変させてその変化した表面弾性波に対応したＲＦ信号を出力するＳＡＷトランスポンダーと、を備え、これにより、外部の電源供給なしにも対象物に加えられる圧力をセンシングして、センシングされた計測データを遠距離まで無線で伝送することによって、センサーの小型化、知能化、無線化の傾向に符合でき、設置以後に半永久的に使用できる、メンテナンスフリーセンサーを提供する。 （もっと読む）