【課題】回路パターンが付された基板の検査ないし補修の工数及びコストの削減を図る。
【解決手段】基板９を配置するためのステージ１と、ステージ１上に配置された基板９を撮像する撮像手段２と、基板９に本来付される回路パターンのデータを記憶するパターン記憶手段８と、撮像手段２で得た画像データをパターン記憶手段８に記憶している回路パターンのデータと比較して基板９の不良部を検出しその位置座標を得る不良検出手段６と、ステージ１上に配置された基板９に対して相対移動可能かつ基板９に付された回路パターンを補修可能な補修手段３と、不良検出手段６で得た位置座標に対応する箇所に補修手段３を移動させて不良部の補修を実行させる制御手段７とを具備する検査・補修装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】非貫通穴または貫通孔が穿たれた基板の検査ないし補修の工数及びコストの削減を図る。
【解決手段】基板８を配置するためのステージ１と、ステージ１上に配置された基板８に穿たれた非貫通穴／貫通孔を撮像する撮像手段２と、撮像手段２で得た画像データを解析して不良の非貫通穴／貫通孔を検出しその位置座標を得る不良検出手段６と、ステージ１上に配置された基板８に対して相対移動可能かつ基板８に穿たれた非貫通穴／貫通孔を補修可能な補修手段３と、不良検出手段６で得た位置座標に対応する箇所に補修手段３を移動させて不良の非貫通穴／貫通孔の補修を実行させる制御手段７とを具備する検査・補修装置を構成した。 （もっと読む）