【課題】太陽電池のフィンガー電極材料を塗布溶液として吐出する複数のノズル孔をもつ塗布ヘッドを用いてセル基板上に直接にフィンガー電極を形成する形成装置及び形成方法と他分野に展開可能な生産性に優れ低価格で信頼性が高い塗布ヘッドを提供する。
【解決手段】電極材料となる塗布溶液を吐出する複数のノズル孔１１を備えた塗布ヘッド５を用い、送液用ポンプ圧で電極パターンの描画を行うものである。光入射開口面の増加と電極配線抵抗の低減という目的から電極幅を低減し電極断面アスペクト比を増大させるため、長孔のノズル形状の塗布ヘッド５を用い吐出流路をセル基板に対して塗布方向に傾けることで、吐出時の衝突エネルギを緩和して所期の電極パターンが得られる。 （もっと読む）

【課題】うねりや凹凸がある大型基材や基板上に、サブミクロンレベルの膜厚の薄膜を精度よく形成できる技術開発が望まれている。その際、装置が巨大になることはなく、メンテナンス性に優れた、構成が要求されている。
【解決手段】低粘度の塗布材料をライン状に非常に小さなばらつきで塗布できるスリットコータヘッドを塗布液の供給機構として適用し、一対の転写ローラ系として、塗布幅と同等な長さを持つアニロックスロールと小径の版胴を組合わせた薄膜塗布方法により、前記の課題を解決可能である。一対の小径ローラ系においては、大型基材塗布の際の問題点となるローラ軸のたわみによる転写不良を一対のローラの配置で対応し、小径の版胴の連続性に関しては、材料、接合方法の工夫により、シームレス化を実現している。また、塗布液供給系と転写系をコンパクトに実装することにより、メンテナンス性にすぐれ、信頼性が高い薄膜塗布装置を提供できる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの洗浄方法および液滴形成に重要な役割をもつ、ノズルの撥水処理膜の修復方法を改善することで、長時間、吐出動作を安定維持できるメンテナンス装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１の三つの開口部を洗浄液供給配管で連結し、送液ポンプ１９、切換えバルブ１８、タンク１７等の組合せで、順方向、逆方向の洗浄液の流れを意図的に作り出し、目詰まりを起し易いノズル、フィルタ、チャネル等の洗浄を行う。ナノバブル発生装置により、洗浄液中にナノバブルを溶解させることで、洗浄力が向上し、目詰まりを解消できる。一方、撥水処理膜の再生においては、選択ミストコーティング法により、ノズルを閉塞することなく、均一な成膜が可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェット法を用いて基板上にレジスト薄膜を形成するフォトレジスト塗布装置及びフォトレジスト塗布方法並びにこれにより薄膜構造体を製造する方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、溶液容器から供給したレジスト溶液を下方へ吐出するノズルを一定間隔で複数設けたインクジェット・ヘッドを２列互い違いに配置したインクジェット吐出機構と、前記インクジェット吐出機構の吐出対象であるウエハを載置した搬送テーブルを水平に移動させる基板搬送機構と、前記インクジェット吐出機構の吐出と前記基板搬送機構の移動を制御する制御機構とからなり、前記ウエハの特定の回路部分にのみ１回の塗布動作でレジスト薄膜を形成することを特徴とするフォトレジスト塗布装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、減圧下でインクジェットヘッドから基板上に材料溶液を吐出塗布して薄膜を形成する際に、膜厚の均一性を実現すると共に、吐出塗布の機能を損なうことなく各構成を簡潔に実装した薄膜形成装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、一定間隔で形成された複数のノズルから材料溶液を吐出して基板に塗布する複数のインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドにノズル面と液面との水頭差を利用して材料溶液を供給する塗布溶液収納容器と、前記基板を載置し水平に移動させる基板搬送テーブルと、前記インクジェットヘッド及び塗布溶液収納容器及び基板搬送テーブルを収容する減圧手段を備えた減圧室とからなり、前記インクジェットヘッドに直接接続された前記塗布溶液収納容器を同じ減圧環境下に置くことを特徴とする薄膜形成装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットヘッドから基板に材料を噴射塗布して薄膜を形成する際に、局部的な部分も含めて膜厚の均一性を高め、塗布形状を正確に実現するための薄膜形成装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、複数のノズルから材料液を吐出するインクジェットヘッドを複数配置したヘッドと、各インクジェットヘッドに材料液を供給するタンクと、ヘッドの下方において載置した基板を駆動用アクチュエーターで水平移動させる搬送テーブルと、搬送テーブルの位置を取得する位置検出手段と、各インクジェットヘッドにヘッド駆動信号を出すヘッドコントローラと、ヘッドコントローラを駆動させるエンコーダパルスを定期的に入力するとともに位置検出手段で取得した位置を基に前記駆動用アクチュエータをフィードバック制御するステージコントローラとからなる薄膜形成装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大気圧より低い圧力雰囲気において基板上に薄膜を塗布する際に、インクジェットヘッドの不具合の原因となるインク充填不良を解消することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、マニホールドに充填したインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドと、ノズルから滴り落ちたインクを受ける材料吸引ブロックと、インクジェットヘッドにインクを供給する材料タンクと、マニホールドから溢れたインクを再利用のために材料タンクに送り返す戻りタンクと、吸引ポンプで負圧状態にし材料吸引ブロック又は戻りタンクの廃インクを吸引するドレンタンクと、インクジェットヘッド、材料吸引ブロック、材料タンク、戻りタンク及びドレンタンクを内部に収容し、真空排気ポンプにより内部を減圧できる真空容器と、大気圧力中に設置され材料タンクにインクを補充する外部タンクとからなるインク充填装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、塗布材料の流動圧力による容積変化をなくして、均一な塗膜を確実に得て、歩留まりを向上させることのできる塗布ヘッド及びそれを用いた塗布方法及び塗布装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、材料供給口から塗布材料を供給してスリット状の開口部から塗布材料を吐出する塗布ヘッドにおいて、材料タンクから塗布材料を吸入して材料吐出口から前記材料供給口に直接塗布材料を吐出する材料供給部を設けることにより、塗布材料の吐出を精密に制御することを特徴とする塗布ヘッドの構成とした。 （もっと読む）