【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が、とりわけコンパクトな信頼性を有しかつ効率的な測定を可能とする、振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】とりわけコンパクトで、信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】少なくとも１対の電極が、震動質量部４５、４６のエッジと関連して設けられ、その対の電極は質量部の表面と共に、２つのキャパシタンスを形成し、該動質量部の主運動の回転の角度に応じて、１対の電極の一方のキャパシタンスは増加し、１対の電極の他方のキャパシタンスは減少する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな角速度の振動マイクロ−メカニカルセンサーにおいて、信頼性が高くかつ効率的な測定を可能とする。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

本発明は、加速度の計測に使用される計測デバイスに関し、より詳細には、微小機械式加速度センサーに関する。本発明は、改良された微小機械式加速度センサーに加えて、微小機械式加速度センサーを使用する３次元または２次元の方向を持つ加速度の計測のための改良された方法を提示しようとするものである。本発明を使用すれば、センサーの機能的信頼性が連続的使用時に監視され得、また、数本の軸線に関して計測を行なう小型微小機械式加速度センサーソリューションでの使用に特に適している。 （もっと読む）

本発明は、加速度、角加速度、または、角速度といった、物理量の測定において用いられる測定装置に関し、より正確には、微小機械モーションセンサーに関する。本発明によるモーションセンサーのコンポーネントのウエハー平面内の領域は、ダイシング切断されて９０゜回転されたモーションセンサーのコンポーネントの領域よりも小さい。それに対応して、本発明によるモーションセンサーのコンポーネントは、９０゜回転された該コンポーネントの高さは、接合の方向では、接合されたウエハーによって形成されるウエハー積層体の厚さよりも小さい。本発明の目的は、微小機械モーションセンサーの改善された製造方法を提供すること、および、微小機械モーションセンサーを提供することであり、小さい微小機械モーションセンサーの解決策での使用には特に好適なものである。 （もっと読む）

本発明は、加速度を測定することに使用される測定装置に関し、より正確には、容量性加速度センサーに関する。本発明の目的は、容量性加速度センサーの改善された製造方法を提供すること、かつ、容量性加速度センサーを提供することであって、該センサーは、微小な容量性加速度センサーの解決策での使用に適用可能であり、特に、該センサーは、いくつかの軸に対する加速度を測定する、微小な極めて薄い容量性加速度センサーの解決策での使用に適用可能である。 （もっと読む）

本発明は、角速度の測定に用いられる測定デバイスに関し、より詳細には、角速度のための振動マイクロ−メカニカルセンサーに関する。本発明による角速度のためのセンサーでは、少なくとも１対の電極が、震動質量部（１）、（９）、（１０）、（２０）、（３０）、（３１）のエッジと関連して設けられ、その対の電極は質量部（１）、（９）、（１０）、（２０）、（３０）、（３１）の表面と共に、２つのキャパシタンスを形成し、該動質量部（１）、（９）、（１０）、（２０）、（３０）、（３１）の主運動の回転の角度に応じて、１対の電極の一方のキャパシタンスは増加し、１対の電極の他方のキャパシタンスは減少する。本発明による角速度のためのセンサーの構造によると、とりわけコンパクトな角速度のための振動マイクロ−メカニカルセンサーにおいて、信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる。 （もっと読む）

本発明は、角速度の測定において用いられる測定デバイスに関し、より詳細には、角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサーに関する。本発明による角速度についてのセンサーでは、震動質量（１、２、３６、３７）がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量（１、２、３６、３７）に与えられる。本発明によるこの角速度についてのセンサーの構造によると、信頼性が高くかつ効率的な測定が、とりわけコンパクトな角速度の振動マイクロ−メカニカルセンサーにおいて可能となる。 （もっと読む）