説明

ベーユプスィロンカー−ガードネル ゲーエムベーハーにより出願された特許

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【課題】表面を検査する方法および装置を提供すること。
【解決手段】表面の特性を検査する方法であって、第1の所定の放出角(α)で、検査される表面(9)上に放射を放出するステップと、第1の受信角(β)で、第1の放出角(α)で放出されて、検査される表面(9)から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第1の測定値を出力するステップと、第2の所定の放出角(α)で、検査される表面(9)上に放射を放出するステップと、第2の受信角(β)で、第2の放出角(α)で放出されて、検査される表面(9)から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第2の測定値を出力するステップと、第1の測定値と第2の測定値との間の比較を実行するステップと、を包含する、方法。 (もっと読む)


【課題】表面の特性を決定する装置および方法を提供すること。
【解決手段】表面の特性を解析する装置(1)であって、解析される表面(9)に直接的に放射を発する第1の放射デバイス(4)と、解析される表面(9)を間接的に照明する第1の照明デバイス(6、7)と、少なくとも1つの第1の放射検出デバイス(8)であって、解析される表面(9)から戻される該放射の少なくとも一部分を受信し、該放射の該一部分の特性である少なくとも1つの信号を出力する、少なくとも1つの第1の放射検出デバイスとを備え、放射散乱デバイス(10、11)が提供され、該放射散乱デバイス(10、11)は、該第1の照明デバイス(6、7)によって少なくとも部分的に照明され、該放射散乱デバイス(10、11)は、解析される表面(9)上に散乱された放射を伝達することを特徴とする、装置。 (もっと読む)


【課題】表面の視覚的な印象を特徴付けるシステムおよびデバイスを作成すること。
【解決手段】本発明は、表面特性の決定のための携帯用デバイス(1)であって、直接に検査中の表面(8)のトポグラフィーを局所的に決定し、この局所的なトポグラフィーに特徴的な少なくとも1つの測定された値を提供する測定装置(10)と、複数の第1の測定された値を考慮し、該表面の全体的なトポグラフィーに特徴的な少なくとも1つの第1の結果値を提供するプロセッサ装置とを備えている、携帯用デバイスに関する。 (もっと読む)


【課題】角度オフセット修正を用いて、表面特性を決定する方法および装置を提供すること。
【解決手段】解析されるべき表面(8)上に放射を放つ少なくとも第一の放射デバイス(3)と、該少なくとも1つの放射デバイス(3)によって放たれ、次いで、該表面(8)によって散乱および/または反射される放射の少なくとも一部を受け、該反射および/または散乱された放射の特徴である少なくとも第一の測定信号を出力する少なくとも第一の放射検出デバイス(5)と、該少なくとも1つの放射デバイス(3)によって放たれ、次いで、該表面(8)によって散乱および/または反射される放射の少なくとも一部を受け、該反射および/または散乱された放射の特徴である少なくとも第二の測定信号を出力する少なくとも1つの第二の放射検出デバイス(15)とを備える、表面特性を決定する装置(1)。 (もっと読む)


【課題】表面特性を決定する方法および装置を提供すること。
【解決手段】解析されるべき表面(8)上に放射を放つ少なくとも第一の放射デバイス(3)と、該少なくとも1つの放射デバイス(3)によって放たれ、次いで、該表面(8)によって散乱および/または反射される放射の少なくとも一部を受け、該反射および/または散乱された放射の特徴である少なくとも第一の測定信号を出力する少なくとも第一の放射検出デバイス(5)と、該少なくとも1つの放射デバイス(3)によって放たれ、次いで、該表面(8)によって散乱および/または反射される放射の少なくとも一部を受け、該反射および/または散乱された放射の特徴である少なくとも第二の測定信号を出力する少なくとも1つのさらなる放射検出デバイス(7)とを備える、表面特性を決定する装置(1)。 (もっと読む)


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