【課題】メーンシャフトの‘Ｌ’形の２段階駆動を正確になし得る、駆動機構の改善された方形真空ゲートバルブを提供する。
【解決手段】ウェハー移動通路を開閉する密閉部材１００と；前記密閉部材１００が上側に結合され、側面にはガイド部材４１０が突設されたメーンシャフト４００と；前記メーンシャフト４００のガイド部材４１０が挿入される第１ガイド溝２１０が垂直上下方向に形成されたハウジングブラケット２００と；前記ハウジングブラケット２００の内部に形成され、空気の圧力によって駆動されるエアシリンダー３１０、前記エアシリンダー３１０の内部に形成されたピストン３２０、前記ピストン３２０に結合されるピストンシャフト３３０、前記ピストンシャフト３３０に結合される可動ユニット３４０、及び前記可動ユニット３４０とメーンシャフト４００に連結される連結リンク３５０を含むバルブ駆動部３００と；前記ハウジングブラケット２００の下側面から垂直下方向に延設される垂直ブラケット５１０、前記上下プレート５１０の長手方向の各対辺に形成された第２ガイド溝５３０、及び前記上下プレート５１０の下端を連結する水平ブラケット５２０が形成されたガイドブラケット５００と；前記メーンシャフト４００の外周面に一側が連結され、他側は前記第２ガイド溝５３０に挿入されたままで、前記メーンシャフト４００の垂直上下運動によって回動するガイドリンク６００とを含む。 （もっと読む）