【課題】多層構造を有する回路基板の電気的特性を検査するための検査環境を制御し、回路基板の表面に露が付くようにした後、露の変化を感知して導線の熱容量変化を判断することで、導線の電気的特性を検査する回路基板の検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象物を第１環境条件に維持する段階と、前記第１環境条件の前記検査対象物を第２環境条件に転換し、前記検査対象物の表面に形成された結露の状態を撮影する段階と、前記撮影された映像と基準対象物に対して撮影した映像とを互いに比較し、電気的特性を判断する段階とを含んで回路基板の検査方法を構成する。 （もっと読む）

【課題】小さい力でも容易に回転可能にし、パターン電極をスキャンしながら断線及び短絡を検査することができる。
【解決手段】ボールを用いた接触式プローブに関するもので、２つの小さい鋼球間で、磁力によって、いずれか一方の鋼球に接するようにした、大きい鋼球を探針子として用い、小さい鋼球と点接触で連結され、上下に自由な変位が可能であるとともに、小さい力でも容易に回転可能にし、パターン電極をひっかき傷等の損傷無しに断線及び短絡を測定することができるプローブである。また、探針子の小さい接触抵抗により磨耗が少なくプローブの寿命が長くなる利点があり、探針子である鋼球を小さい直径で製作できるので、微細パターンの測定にも対応できると言った利点を持っている。 （もっと読む）

【課題】非接触探針電極の給電電極とセンサ電極が一つのモジュールで構成された非接触シングルサイドプローブを用いたパターン電極の断線・短絡検査装置及びその方法を提供する。また、非接触シングルサイドプローブの非接触探針電極の給電電極とセンサ電極をそれぞれ一対に構成し、空間解像度及び雑音対信号比を高めるようにしたパターン電極の断線・短絡検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】検査対象パターン電極に非接触状態で給電してセンシングするための非接触探針電極と、前記非接触探針電極に交流電源を給電するための給電部と、前記非接触探針電極での電気的変化値を測定するための感知部を含んで非接触シングルサイドプローブを構成する。 （もっと読む）

【課題】ＰＣＢパターン、データ伝送線及び電気ケーブルなどの多数の導線の断線及び短絡を、導線別に一端で一つのプローブを用いて探針し、導線に交流電源を印加した後、プローブで測定される電気的変化値を通して断線及び短絡を検査できるようにした接触式シングルサイドプローブと、これを用いた導線の断線・短絡検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】検査対象導線に接触するための探針子と、前記探針子に交流電源を入力するための給電部と、前記探針子での電気的変化値を測定するための感知部を含んで接触式シングルサイドプローブを構成する。 （もっと読む）

【課題】非接触シングルサイドプローブ構造を提供する。
【解決手段】非接触シングルサイドプローブの構造を、複数の絶縁膜と導電膜が繰り返し積層された切断面の内側の導電膜断面をプローブ電極とし、プローブ電極の外側領域に積層された導電膜断面をガード部として形成することによって、パターン電極のピッチに対応する導電膜厚にプローブ電極を形成し、微細なパターン電極に対応して断線及び短絡を検査できる他、電極とコンタクトホール間の距離が一定距離以上に維持されノイズに強くなるようにする。 （もっと読む）