【課題】簡便な方法で、かつ、コスト的にも実現可能な採算性を備えた除去方法及び装置を提供する。
【解決手段】不要な金属イオン成分などを含有する工業用廃液やスラリー廃液に含まれる不要な金属イオン成分を除去するもので、廃液を希釈する希釈工程と、希釈工程で得られた希釈廃液の一部を残して残部を系外に排出する排出工程とを備えた。好ましくは、残存させた希釈廃液の成分やｐＨなどを調整する成分等調整工程を備え、成分等調整工程では硝酸第二鉄や過酸化水素水などの研磨性能を向上させる物質を添加し、希釈工程の希釈倍率が２０〜２００倍であり、希釈が超純水により行われ、不溶性物質の一部を回収し、未使用の工業用水溶液やスラリー新液の比重と同様となるように比重調整を行う比重調整工程や未使用のスラリー新液中の研磨用粒子成分の粒径と同様となるように粒径調整を行う粒径調整工程を備えてもよい。 （もっと読む）