本発明は、オゾンガスを用いて少なくとも１つの部材を滅菌する方法および装置に関する。本発明の方法は、 少なくとも１つの部材が配置される滅菌チャンバーを有するハウジングを供する工程、 前記少なくとも１つの部材を第１電位に帯電させる工程、および、水蒸気を前記滅菌チャンバーへ供給する工程を含んで成る。そして、酸素含有ガスが第２電位に帯電するようにイオン化ユニットで酸素含有ガスを静電的イオン化する。また、静電的にイオン化した酸素含有ガスに基づいて、オゾン発生器でイオン化オゾンガスを発生させる。帯電した少なくとも１つの部材の表面にイオン化オゾンガスが引き寄せられるように、イオン化したオゾンガスを滅菌チャンバーに供給する。そして、 所定の暴露時間でもって少なくとも１つの部材を前記イオン化したオゾンガスに曝す。本発明の方法および装置では、迅速で安全な低コストな滅菌処理が供される。本発明では、滅菌される部材とイオン化オゾンガスとの間の電位差に起因して、イオン化オゾンガスが部材の全ての露出面と接触することができる（例えばそれが小さく複雑な面または表面であっても接触することができる）ので、滅菌効率が相当に増す。また、本発明では、比較的低い温度および圧力が用いられているので、滅菌される機器・器具の変形および磨耗・損傷が減じられると共に、実質的に滅菌後すぐに機器・器具を使用することができる。このことは、超音波振動子および内視鏡などの複雑な医療デバイスを滅菌するのに有利となる。なぜなら、かかる医療デバイスは非常に高価であるので、滅菌処理による磨耗・損傷が減じられて医療デバイスの寿命が長くなると、効率的なコスト低減につながるからである。尚、本発明は、医療デバイスではない他の機器・器具（例えば再使用可能な製品）であっても、効率的に滅菌することができる。
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