【課題】 基板を回転させずに、均一な厚さの薄膜を面積が大きい基板に形成でき、かつ蒸発される物質の使用効率が高いエバポレータを提供する。
【解決手段】 本発明は、真空熱蒸着用のエバポレータに関し、特に、広範囲に均一な薄膜を形成し、かつ、蒸着される物質の使用効率を改善することができる、円錐状の多層スリットノズルを有するエバポレータに関する。エバポレータは、開放頂面を有する円筒るつぼ１１０と、るつぼ１１０の頂面に組立てられる円筒本体部分１２１を有するノズルユニット１２０とを含み、本体部分１２１は、本体部分を貫いて掘られ、本体部分１２１の上部の周囲部分に形成された円錐状の多層スリット１２２と、スリット１２２に接続され本体部分１２１の下面を貫く蒸発管１２３とを備える。円錐状の多層スリットノズルは、蒸着された薄膜の厚みの均一性を増し、かつ蒸着される物質の使用効率を改善し得る、蒸着される物質の噴出分布をもたらす。 （もっと読む）

【課題】 材料の使用効率を向上させつつ、蒸着器で蒸発すべき材料を基板に蒸着でき、これによって、面積が大きくて均一な薄膜を形成するマルチノズル蒸着器が開示される。
【解決手段】 蒸着器は、開放上面を有する円筒状のまたは長方形の柱状のるつぼ３１または５１と、るつぼ３１または５１の高さよりも低い高さの円筒状または長方形の柱形状を有しかつるつぼの上部に組み立てられる本体部と、本体部の上面と底面との間で本体部を貫通しつつ、ある角度で形成された複数の蒸発管とを備えるノズルユニット３２とを有する。蒸発される材料は、傾斜した蒸発管によって基板の周辺領域に向かって噴出し、これによって、蒸着すべき薄膜の均一性と、蒸発される材料の使用効率とが向上し、噴出部における蒸発された材料の凝縮が防止される。
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