【課題】クリーンルームの空間を有効活用でき、クリーンルーム内のフロアーに空きスペースが無く、保管棚を設置できない場合にも増設が可能なストッカー装置を提供する。
【解決手段】キャリア１を平面的に保管する保管棚１４を有する保管棚部１０と、保管棚部１０の上方に配設され、キャリア１をチャッキングするチャック機構８１、８２をＸＹ軸方向に駆動されるホイスト機構部８０を有する移載ハンドリング部５０と、前工程より保管棚部１０にキャリア１を搬送又は保管棚部１０よりキャリア１を次工程に搬送するホイスト装置１４２、１４３とを備え、保管棚部１０の枠体１３上に移載ハンドリング部５０の枠体５１が一体的に固定され、移載ハンドリング部５０の枠体５１は天井２に吊り下げられている。 （もっと読む）