【課題】むらのない高精度な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】ゴムローラ８０ａ、８０ｂの前段に配設される基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄを構成する基板搬送ローラ８９は、ガラス基板２４の搬送方向（矢印Ｃ方向）の同一部分に当接することのないよう、搬送方向と直交する方向に互いにずらせて配設される。これにより、基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄの前段において所定温度に加熱されたガラス基板２４は、当接する基板搬送ローラ８９による温度変動の影響を殆ど受けることなく、均一な温度を維持した状態で後段の貼り付け機構に供給される。 （もっと読む）

【課題】基板や長尺状感光性ウエブを無駄にすることなく、高精度な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】ゴムローラ８０ａ、８０ｂの交換後の貼り付け前期、貼り付け中期及び貼り付け後期の各期間において、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの前後の長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに付与するテンションを、所定値よりも大きい設定、前記貼り付け前期での所定値よりも小さい設定、及び、前記貼り付け中期よりも大きい設定にそれぞれ切り替えて、貼り付け処理を連続的に行う。 （もっと読む）

【課題】研磨状態のバラツキの発生を抑制し、研磨対象の表面を均一に研磨することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨プレート２２における研磨パッド２３の装着部２２ｄに、装着部２２ｄの中心２２ｆを中心とする複数個の同一形状の扇形の溝部２２ｅを、周方向に等間隔に形成すると共に、溝部２２ｅ内に真空ポンプに接続された空気流路の吸込口２２ｃを形成し、吸込口２２ｃから空気を吸引することによって研磨パッド２３を装着部２２ｄに装着する。 （もっと読む）

【課題】所定の処理液が塗布された塗布済み基板に処理液の塗布斑が生じるのを抑制することができる塗布乾燥装置を提供する。
【解決手段】塗布乾燥装置１は、基板の表面にレジスト液を塗布する塗布処理部２と、レジスト液が塗布された塗布済み基板５が収容される減圧室３０を有し、減圧室３０内を減圧して塗布済み基板５の乾燥を行う減圧乾燥処理部３と、塗布処理部２からの塗布済み基板５を減圧乾燥処理部３まで搬送すると共に、減圧室３０内に塗布済み基板５を搬入する基板搬送部４とを備える。基板搬送部４は、塗布済み基板５が一表面に載置されると共に、減圧室３０内を通過するように配置される搬送ベルト４２を有する。塗布済み基板５の乾燥を行うときは、基板搬送部４は、塗布済み基板５が減圧室３０内に搬入された時点で搬送ベルト４２の移動を停止し、減圧乾燥処理部３は、搬送ベルト４２を使用して減圧室３０を密閉する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ基板を均一に研磨できると共に、研磨部材の交換頻度を少なくすることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置１は、カラーフィルタ基板５が搬送ベルト３によって搬送されて研磨テーブル２上を通過する際に、研磨部材４６を偏心軸４２回りに偏心回転された状態でカラーフィルタ基板５の表面に研磨部材４６を加圧接触させて研磨を行う。研磨テーブル２には、研磨時に研磨部材４６が接触する接触面を有する第１受け部材６ａ，６ｂが、搬送ベルト３を挟んで対向する位置にそれぞれ設けられている。また、搬送ベルト３には、第２受け部材９ａ，９ｂが、カラーフィルタ基板５の載置位置の搬送方向上流側及び下流側にそれぞれ設けられている。第１及び第２受け部材６ａ，６ｂ，９ａ，９ｂのそれぞれの接触面は、当該接触面と載置されるカラーフィルタ基板５の表面とが同一平面に含まれるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】回動体による基板の損傷を防止して、基板表面の円滑な除塵を実現することができる基板用除塵装置を提供する。
【解決手段】除塵ユニット２は、エア排出室５とエア吸引室７とを備えると共に、エア排出室５及びエア吸引室７が基板３０の搬送方向Ｒ１に沿って配置され、エア排出室５から噴出用流路６を介して基板３０の表面に向けて噴出させた清浄エアをエア吸引室７に吸引させるように構成される。また除塵ユニット２は、エア排出室５とエア吸引室７との間に設けられ、エア吸引室７の吸引力に抵抗する抵抗力を搬送中の基板３０に与えるために基板３０に従動して回動する回動体９を備える。さらに除塵ユニット２は、エア排出室５の清浄エアを、回動体９の表面であって基板３０との接触位置とは異なる位置に噴出させた後、吸引除去する異物除去用流路１０を有する。 （もっと読む）