本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）

【課題】ダブル光ファイバ接続を利用した微小空洞測定装置を提供する。
【解決手段】ダブル光ファイバ接続を利用した微小空洞測定装置は、照準器付き送信器、コントローラおよび長さ測定装置を備える。当該微小空洞測定装置は、照準器付き送信器が動作を開始した瞬間から照準器付き送信器が動作を停止する瞬間まで、プローブに対する対象物の位置における細かい変化を検出する。コントローラは、測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するためのプログラムを有する。当該微小空洞測定装置は、照準器付き送信器がレーザ部、データ収集／処理部、および入射光ファイバと出射光ファイバの一端がカプラ上に固定されているダブル光ファイバ接続部とから成ることを特徴とする。ダブル光ファイバ接続を利用した微小空洞測定方法は、プローブを微小空洞に挿入して、プローブを測定方向に移動させるステップと、照準器付き送信器が長さ測定装置に対して、プローブが微小空洞の側面に接触している場合にプローブの位置を長さ測定装置に記録させるための信号を送るステップと、続いて微小空洞の寸法を計算するステップとから成る。 （もっと読む）