【課題】発生器の出力を制御する制御方法を提供する。
【解決手段】発生器の出力（２２）は，あるインピーダンスをもつ負荷に対し，あるセトリング時間をもつ出力信号（１２）を供給する。この出力信号について，そのセトリング時間を決定する。出力信号は，変調波形で振幅変調する（２０）。この変調した出力信号について，これを表すセンス信号を発生する（２６）。そのセンス信号を，出力信号のセトリング時間に基づくサンプリング時点にてサンプリングし（２８），このサンプリングしたセンス信号のデジタル表現を発生する。サンプリングしたセンス信号のこのデジタル表現に基づき，上記出力の振幅変調を制御する（１４）。 （もっと読む）

【課題】パワー・レベルの増大した範囲でプラズマ・チューナをホット・スイッチングする回路を提供する。
【解決手段】本発明のホット・スイッチング回路は、インピーダンスを整合するためのＲＦ発生器出力とプラズマ容器との間を、予め定められたインピーダンスをスイッチするためのＲＦスイッチを備えた制御されたインピーダンス・ネットワークが結合する。このＲＦスイッチのデバイス動作特性が決定される。ＲＦパワーが、ＲＦ発生器から制御されたインピーダンス・ネットワークを通してプラズマ容器に供給される。インピーダンス整合の信号特性が計測される。ＲＦスイッチは、インピーダンス整合が予め定められた整合範囲に向かって駆動されるように、この計測された信号特性に基づいて制御される。ＲＦスイッチは、デバイスの動作特性に基づいて任意のスピードでスイッチされる。 （もっと読む）

【課題】電力送配システム用故障予測システムを提供する。
【解決手段】電力送配システムは、システム・モニタに相互接続されるいくつかのモジュールを含んでいる。システム・モニタは、各モジュールの動作パラメータおよび環境パラメータのデータを集める。システム・モニタは、パラメータに基づいて状態を明確に定めるためにデータを解析する。次に、警告または故障インジケータを発生すべきかどうかを決定するために一組のルールがパラメータに適用される。システム・モニタは、電力送配システムの一部としてローカルに実現するか、あるいはオフ・サイト・データ収集および解析をできるようにするために電力送配システムから遠隔配置することができる。 （もっと読む）